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盛美上海:海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司2022年度 返回 >>

作者:亚博登陆 日期: 2022-09-16 03:20:55

  经我国证券监督办理委员会《关于赞同盛美半导体设备(上海)股份有限公司初次揭露发行股票注册的批复》(证监答应[2021]2689号)核准,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“上市公司”、“公司”或“发行人”)于2021年11月18日初次揭露发行A股43,355,753股,每股的发行价为人民币85.00元,征集资金总额为人民币368,523.90万元,扣除发行费用人民币20,398.05万元(不含税,下同)后,实践征集资金净额为人民币348,125.85万元。上述征集资金净额已悉数到位,由立信会计师事务所(特别一般合伙)审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资陈说》予以承认。本次发行证券已于2021年11月18日在上海证券买卖所上市。海通证券股份有限公司(以下简称“保荐安排”或“海通证券”)担任其继续督导保荐安排,继续督导期间为2021年11月18日至2024年12月31日。

  在2022年1月1日至2022年6月30日继续督导期内(以下简称“本继续督导期间”),保荐安排及保荐代表人依照《证券发行上市保荐事务办理方法》(以下简称“保荐方法”)、《上海证券买卖所科创板股票上市规矩》及《上海证券买卖所上市公司自律监管指引第11号——继续督导》等相关规矩,经过日常交流、定时回访、现场查看、尽职查询等方法进行继续督导,现就2022年半年度继续督导状况陈说如下:

  1、建立健全并有用实行继续督导作业准则,并针对详细的继续督导作业拟定相应的作业 保荐安排已建立健全并有用实行继续督导作业准则,并针对详细的继续督导作业拟定相应

  2、依据我国证监会相关规矩,在继续督导作业开端前,与上市公司或相关当事人签署继续督导协议,清晰两边在继续督导期间的权力责任,并报上海证券买卖所存案。继续督导期间,协议相关方对协议内容做出修正的,应于修正后五个买卖日内报上海证券买卖所存案。停止协议的,协议相关方应自停止之日起五个买卖日内向上海证券买卖所陈说,并阐明原因。 保荐安排已与上市公司签署了保荐协议,协议清晰了两边在继续督导期间的权力和责任,并已报上海证券买卖所存案。本继续督导期间,未产生对协议内容做出修正或停止协议的状况。

  3、继续督导期间,依照有关规矩对上市公司违法违规事项揭露宣布声明的,应于宣布前向上海证券买卖所陈说,并经审理后予以宣布。 本继续督导期间,上市公司未产生需揭露宣布声明的违法违规事项。

  4、继续督导期间,上市公司或相关当事人呈现违法违规、违背许诺等事项的,应自发现或应当发现之日起五个买卖日内向上海证券买卖所陈说。 本继续督导期间,上市公司及相关当事人未呈现需陈说的违法违规、违背许诺等事项。

  5、经过日常交流、定时回访、现场查看、尽职查询等方法展开继续督导作业。 本继续督导期间,保荐安排经过日常交流、定时或不定时回访、现场查看、尽职查询等方法,对上市公司展开继续督导作业。其间,保荐安排于2022年7月11日及2022年7月25日对上市公司进行了现场查看。

  6、催促上市公司建立和实行标准运作、许诺实行、分红报答等准则。 保荐安排已催促上市公司建立和实行标准运作、许诺实行、分红报答等准则。

  7、督导上市公司及其董事、监事、高档办理人员恪守法令、法规、部分规章和上海证券买卖所发布的事务规矩及其他标准性文件,并实在实行其所做出的各项许诺。 保荐安排继续催促、辅导上市公司及其董事、监事、高档办理人员,本继续督导期间,上市公司及其董事、监事、高档办理人员可以恪守相关法令法规的要求,并实在实行其所做出的各项许诺。

  8、督导上市公司建立健全并有用实行公司办理准则,包含但不限于股东大会、董事会、监事会议事规矩以及董事、监事和高档办理人员的行为标准等。 核对了上市公司办理准则建立与实行状况,上市公司《公司章程》、三会议事规矩等准则契合相关法规要求,本继续督导期间,上市公司有用实行了相关办理准则。

  9、督导上市公司建立健全并有用实行内控准则,包含但不限于财政办理准则、会计核算准则和内部审计准则,以及征集资金运用、相关买卖、对外担保、对外出资、衍生品买卖、对子公司的操控等严峻运营抉择计划的程序与规矩等。 核对了上市公司内控准则建立与实行状况,上市公司内控准则契合相关法规要求,本继续督导期间,上市公司有用实行了相关内控准则。

  10、督导上市公司建立健全并有用实行信息宣布准则,审理信息宣布文件及其他相关文件,并有充沛理由坚信上市公司向上海证券买卖所提交的文件不存在虚伪记载、误导性陈说或严峻遗失。 保荐安排催促上市公司严厉实行信息宣布准则,审理信息宣布文件及其他相关文件,详见“二、保荐安排对上市公司信息宣布审理的状况”。

  11、对上市公司的信息宣布文件及向我国证监会、上海证券买卖所提交的其他文件进行事前审理,对存在问题的信息宣布文件应及时催促上市公司予以更正或弥补,上市公司不予更正或弥补的,应及时向上海证券买卖所陈说。 详见“二、保荐安排对上市公司信息宣布审理的状况”。

  12、对上市公司的信息宣布文件未进行事前审理的,应在上市公司实行信息宣布责任后五个买卖日内,完结对有关文件的审理作业,对存在问题的信息宣布文件应及时催促上市公司更正或弥补,上市公司不予更正或弥补的,应及时向上海证券买卖所陈说。 详见“二、保荐安排对上市公司信息宣布审理的状况”。

  13、注重上市公司或其控股股东、实践操控人、董事、监事、高档办理人员遭到我国证监会行政处罚、上海证券买卖所监管方法或纪律处分的状况,并催促其完善内部操控准则,采纳方法予以纠正。 本继续督导期间,上市公司或其控股股东、实践操控人、董事、监事、高档办理人员未遭到我国证监会行政处罚、上海证券买卖所纪律处分或许被上海证券买卖所出具监管注重函的状况。

  14、注重上市公司及控股股东、实践操控人等实行许诺的状况,上市公司及控股股东、实践操控人等未实行许诺事项的,应及时向上海证券买卖所陈说。 上市公司或其控股股东、实践操控人作出许诺的,保荐安排、保荐代表人应当催促其对许诺事项的详细内容、履约方法及时刻、履约才能剖析、履约危险及对策、不能履约时的救助方法等方面进行充沛信息宣布。 保荐安排、保荐代表人应当针对前款规矩的许诺宣布事项,继续跟进相关主体实行许诺的开展状况,催促相关主体及时、充沛实行许诺。 上市公司或其控股股东、实践操控人宣布、实行或许改动许诺事项,不契合法令法规、上市规矩以及上海证券买卖所其他规矩的,保荐安排和保荐代表人应当及时提出督导定见,并催促相关主体进行补正。 本继续督导期间,上市公司及控股股东、实践操控人等不存在未实行许诺的状况。 上市公司或其控股股东、实践操控人已对许诺事项的详细内容、履约方法及时刻、履约才能剖析、履约危险及对策、不能履约时的救助方法等方面进行充沛信息宣布。

  15、注重公共传媒关于上市公司的报导,及时针对商场风闻进行核对。经核对后发现上市公司存在应宣布未宣布的严峻事项或与宣布的信息与现实不符的,应及时催促上市公司照实宣布或予以弄清;上市公司不予宣布或弄清的,应及时向上海证券买卖所陈说。 本继续督导期间,上市公司未呈现该等事项。

  16、发现以下景象之一的,应催促上市公司做出阐明并期限改正,一起向上海证券买卖所陈说: (一)上市公司涉嫌违背《上市规矩》等上海证券买卖所相关事务规矩; 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  (二)中介安排及其签名人员出具的专业定见或许存在虚伪记载、误导性陈说或严峻遗失等违法违规景象或其他不妥景象; (三)上市公司呈现《保荐方法》第七十一条、第七十二条规矩的景象; (四)上市公司不协作保荐安排继续督导作业; (五)上海证券买卖所或保荐安排以为需求陈说的其他景象。

  17、拟定对上市公司的现场查看作业计划,清晰现场查看作业要求,保证现场查看作业质量。保荐安排对上市公司的定时现场查看每年不该少于一次,担任该项意图两名保荐代表人至少应有一人参与现场查看。 保荐安排拟定了对上市公司的现场查看作业计划,清晰现场查看作业要求。保荐安排于2022年7月11日及2022年7月25日对上市公司进行了现场查看,担任该项意图两名保荐代表人有1人参与了现场查看。

  18、要点注重上市公司是否存在如下事项: (一)存在严峻财政造假嫌疑; (二)控股股东、实践操控人及其相关人涉嫌资金占用; (三)或许存在违规担保; (四)控股股东、实践操控人及其相关人、董事、监事或许高档办理人员涉嫌侵吞上市公司利益; (五)资金来往或许现金流存在严峻反常; (六)本所或许保荐人以为应当进行现场核对的其他事项。 呈现上述景象的,保荐安排及其保荐代表人应当催促公司核实并宣布,一起应当自知道或许应当知道之日起15日内按规矩进行专项现场核对。公司未及时宣布的,保荐安排应当及时向上海证券买卖所陈说。 本继续督导期间,上市公司未呈现该等事项。

  19、辨认并催促上市公司宣布对公司继续运营才能、中心竞赛力或许操控权安稳有严峻晦气影响的危险或许负面事项,并宣布定见。 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  20、注重上市公司股票买卖反常动摇状况,催促上市公司依照本规矩规矩实行核对、信息宣布等责任。 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  21、对上市公司存在的或许严峻影响公司或许出资者合法权益的事项展开专项核对,并出具现场核对陈说。 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  22、上市公司日常运营呈现下列景象的,保荐安排、保荐代表人应当就相关事项对公司运营的影响以及是否存在其他未宣布严峻危险宣布定见并宣布: (一)首要事务阻滞或呈现或许导致首要事务 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  阻滞的严峻危险事情; (二)财物被查封、扣押或冻住; (三)未能清偿到期债款; (四)实践操控人、董事长、总经理、财政担任人或中心技能人员涉嫌犯罪被司法机关采纳强制方法; (五)触及相关买卖、为别人供给担保等严峻事项; (六)本所或许保荐安排以为应当宣布定见的其他景象。

  23、上市公司事务和技能呈现下列景象的,保荐安排、保荐代表人应当就相关事项对公司中心竞赛力和日常运营的影响,以及是否存在其他未宣布严峻危险宣布定见并宣布: (一)首要原资料供给或许产品出售呈现严峻晦气改动; (二)中心技能人员离任; (三)中心知识产权、特许运营权或许中心技能答应丢失、不能续期或许呈现严峻胶葛; (四)首要产品研制失利; (五)中心竞赛力丢失竞赛优势或许商场呈现具有显着优势的竞赛者; (六)本所或许保荐安排以为应当宣布定见的其他景象。 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  24、继续注重上市公司建立征集资金专户存储准则与实行状况、征集资金运用状况、出资项意图施行等许诺事项,对征集资金寄存与运用状况进行现场查看。 保荐安排对上市公司征集资金的专户存储、征集资金的运用以及出资项意图施行等许诺事项进行了继续注重,督导公司实行征集资金专户存储准则及征集资金监管协议,于2022年7月11日及2022年7月25日对上市公司征集资金寄存与运用状况进行了现场查看,并出具关于征集资金寄存与运用状况的专项核对陈说。

  25、上市公司及其控股股东、董事、监事、高档办理人员是否存在未依法标准运作,未实在保证出资者的合法权益,危害出资者利益的状况。 本继续督导期间,上市公司及相关主体未呈现该等事项。

  26、保荐安排宣布核对定见状况。 本继续督导期间,保荐安排宣布核对定见详细状况如下: 2022年3月1日,保荐安排宣布《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司运用征集资金置换预先已投入募投项目及已付出发行费用的自筹资金的核对定见》; 2022年3月1日,保荐安排宣布《海通证券股 份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司2021年度征集资金寄存与实践运用状况的核对定见》; 2022年3月1日,保荐安排宣布《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司承认2021年度日常相关买卖超出估计部分及2022年度日常相关买卖估计的核对定见》; 2022年3月1日,保荐安排宣布《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司2021年度继续督导盯梢陈说》; 2022年3月1日,保荐安排宣布《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司2021年度继续督导现场查看陈说》; 2022年5月9日,保荐安排宣布《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司初次揭露发行网下配售限售股上市流转的核对定见》。

  海通证券继续督导人员对上市公司本继续督导期间的信息宣布文件进行了事前或过后审理,包含股东大会会议抉择及公告、董事会会议抉择及公告、监事会会议抉择及公告、征集资金运用和办理的相关陈说和其他暂时公告等文件,对信息宣布文件的内容及格局、实行的相关程序进行了查看。

  经核对,保荐安排以为,上市公司严厉依照证券监督部分的相关规矩进行信息宣布,依法揭露对外发布各类定时陈说或暂时陈说,保证各项严峻信息的宣布实在、准确、完好、及时,不存在虚伪记载、误导性陈说或许严峻遗失。

  公司所在的半导体专用设备职业归于技能密集型职业,触及微电子、电气、机械、资料、化学工程、流体力学、自动化、图像辨认、通讯、软件体系等很多学科范畴,具有较高的技能研制门槛。跟着全球半导体职业的蓬勃开展,半导体职业技能一日千里,清洗设备对晶圆外表污染物的操控要求越来越高,以防止杂质影响芯片良率和产品功用。此外,客户对清洗设备清洗外表污染物的品种、清洗功率、腔体数量、适用技能节点等需求也随之不断改动。公司长期坚持差异化竞赛和立异的开展战略,若不能继续坚持足够的研制投入,亦或芯片工艺节点继续缩小,再或芯片制作新技能的呈现,都或许导致公司的SAPS、TEBO、Tahoe等中心技能及相关产品的先进程度下降,将或许对公司的运营成绩形成晦气影响。

  作为技能密集型职业,技能人才是决议半导体专用设备职业竞赛力的要害因素。跟着我国大陆半导体专用设备职业的继续开展,对技能人才的竞赛将不断加重。假如因为薪酬或其他原因,公司的要害技能人才很多丢失,或许公司无法鼓励现有技能人才,亦或无法招引优异技能人才,公司或许产生技能团队装备缺乏的景象,然后无法继续研制和出售新产品,无法为客户供给优质的服务,公司也或许会面对更高的招聘及训练本钱,将对公司技能研制才能和运营成绩形成晦气影响。

  公司本身几乎不从事零部件加工事务,而是依据对产品的规划安排零部件外购及外协。公司一贯注重对中心技能的维护,但假如因公司或供给商的网络安全体系无法防备未经授权的拜访、杂乱的网络进犯,或许公司的员工、供给商对敏感数据的不妥处理等原因导致公司的知识产权、中心技能走漏,公司或许会遭到客户的严峻责任索赔,将或许导致公司的名誉和竞赛位置遭到严峻危害,然后对公司的事务开展和运营效果产生晦气影响。

  全球半导体专用设备职业商场竞赛剧烈,商场首要被世界巨子企业所占有,公司产品在其面向的商场均与世界巨子直接竞赛。与我国大陆半导体专用设备企业比较,世界巨子企业具有更强的资金实力、技能储备、出售团队、制作才能、出售途径和商场知名度,具有更广泛的客户和协作伙伴关系,也具有更长的运营前史、更为丰厚的产品系列、更为广泛的地域掩盖,可以更好地辨认和应对商场和客户需求的改动。部分世界巨子还能为一起购买多种产品的客户供给绑缚扣头。

  近年来跟着我国半导体终端运用商场的不断添加,我国半导体制作、封测、资料、设备等子职业的开展迅速。伴跟着全球半导体工业第三次搬运的进程,我国大陆商场估计将成为全球半导体设备企业竞赛的主战场,公司未来将面对世界巨子企业和我国新进入者的两层竞赛。公司产品与世界巨子比较,在适用技能节点、商场占有率等方面有必定的距离,假如公司无法有用应对与该等竞赛对手之间的竞赛,公司的事务收入、运营效果和财政状况都将遭到晦气影响。

  现在,公司设备中运用的部分要害零部件依赖于公司当时的供给商,比方:Product Systems,Inc.为公司单片清洗设备要害零部件兆声波产生器的仅有供给商;NINEBELL为公司单片清洗设备传送体系中机器人手臂的首要供给商;Advanced Electric Co.,Inc.为公司单片清洗设备中阀门的要害供给商。假如公司与该等供给商的协作关系产生晦气改动,或该等供给商本身运营呈现困难,将对公司的出产计划产生晦气影响;若公司替换该等要害零部件的收购来历,或许会在过渡阶段呈现供给中止,导致公司产品推迟交货,并产生高额费用,然后或许对公司的运营成绩产生晦气影响。

  公司的商场开辟战略是首要开辟全球半导体龙头企业客户,经过长时刻的研制和技能堆集,获得其对公司技能和产品的认可,以建立公司的商场名誉。然后凭仗在世界职业获得的成绩和名誉,继续开辟我国大陆等半导体职业新式区域商场。公司经过向客户展现SAPS、TEBO、Tahoe技能、电镀设备和无应力抛光设备的差异化和立异性,立式炉管系列产品的功用及可靠性,使全球抢先的芯片制作企业可以评价和验证公司的技能和产品。在公司的商场开辟过程中,假如这些抢先的芯片制作企业不肯承受和验证公司的设备产品;或许即便这些抢先的芯片制作企业选用公司的技能和设备,其他芯片制作企业也或许不会承受公司的技能和设备。公司产品的商场开辟存在失利的危险,或许会对公司的事务、运营效果和财政状况产生严峻晦气影响。

  公司产品的出售周期或许十分绵长,并且具有不确定性。从开端与客户触摸到实行收购订单,公司的出售周期一般是6到24个月乃至更长。公司很难准确猜测潜在客户何时、乃至是否会向公司收购,也很难准确猜测公司是否可以添加对现有客户的出售。在出售周期内,公司在营销活动将投入很多的时刻和资金,会对公司的运营效果及财政状况形成必定晦气影响。

  此外,在公司开展的前期,事务规划较小,难以掩盖很多潜在客户,公司首要经过代理商开辟商场。跟着公司事务规划的不断扩展,公司开端着手扩展本身出售团队。若代理商和公司自有出售团队未能继续开辟新客户,或许代理商挑选不再与公司继续协作,都将对公司的事务和运营效果产生晦气影响。

  2022年1-6月,公司享用高新技能企业所得税的税收优惠和研制费用加计扣除。假如我国有关税收优惠的法令、法规、方针等产生严峻调整,或许因为公司未来不能继续获得我国高新技能企业资历或不满意研制费用加计扣除的条件等,将对公司的运营成绩形成必定影响。

  2022年1-6月,公司的大多数产品出售以美元计价,部分原资料、零部件收购以美元和韩元计价,而其他原资料、零部件、员工薪酬、其他本钱费用以人民币计价,人民币对美元、韩元的汇率将会对公司的运营效果形成影响。人民币汇率跟着世界政治、经济环境的改动而动摇,具有必定的不确定性。跟着公司事务规划的继续扩展,若未来人民币对美元、韩元的汇率产生剧烈动摇,将对公司的成绩带来必定的不确定性,或许导致汇兑丢失的产生,然后对公司的运营效果和财政状况形成晦气影响。

  公司所在的半导体专用设备职业是半导体工业链的要害性支撑职业,其需求直接遭到芯片制作、封测职业及终端运用商场的影响。

  假如未来宏观经济产生剧烈动摇,导致5G通讯、计算机、消费电子、网络通讯、轿车电子、物联网等终端商场需求下降,晶圆制作、封测企业将面对产能过剩的局势,然后导致芯片产品销量和价格的下降,其运营收入、盈余才能也将随之下降。晶圆制作、封测企业一般会在职业低迷期间大幅削减本钱性支出,并且本钱性支出的下降起伏往往会超越其运营收入的下降起伏,然后削减对半导体专用设备的收购金额,将会对公司的事务开展和运营成绩形成晦气影响。

  而在半导体职业景气量进步的周期,公司有必要进步产值以满意预期的客户需求,这要求公司及供给商添加库存、扩展出产才能。假如公司不能及时应对客户需求的快速添加,或许对需求添加的期间、继续时刻或起伏判别过错,一方面公司或许会失掉现有客户,另一方面也或许产生与运营收入添加不成比例的本钱添加,然后或许会对公司的事务、运营效果、财政状况或现金流量产生严峻晦气影响。

  2018年以来,美国和我国之间的交易争端有所加重。在2018年7月、8月和9月、2019年6月和9月以及2020年2月,美国政府对原产于我国的特定进口产品征收关税。我国政府也经过对从美国进口的特定产品征收关税来应对每一轮美国关税变化。未来,美国和我国政府仍将或许对原产于对方的特定产品继续加征关税,或设置其他交易壁垒。

  美国和我国政府加征关税以及周边的经济不确定性或许会对半导体职业产生负面影响,包含下降晶圆制作、封测企业对半导体专用设备的需求。假如所在国交易方针、关税、附加税、出口约束或其他交易壁垒进一步恶化,将或许对公司客户的出产或出售才能形成晦气影响,使公司客户的运营状况恶化,导致客户对公司设备产品的需求下降。此外,假如我国政府对公司从美国收购的原资料或零部件加征关税,公司的运营本钱也将添加,然后会对公司的运营收入、运营效果或财政状况产生严峻晦气影响。

  2022年1-6月公司运营收入为10.96亿元,同比添加75.21%,首要原因是全球半导体职业景气以及商场对公司半导体设备的微弱需求,公司出售订单及产能均继续添加,运营收入进一步进步。公司继续产品多元化的开展战略,新产品的微弱添加使收入结构多样化并扩展了商场规划。公司2022年1-6月半导体清洗设备、前道半导体电镀设备和先进封装湿法设备(包含后道电镀设备)的运营收入均有较大添加。

  2022年1-6月归归于上市公司股东的净利润同比添加163.83%,归归于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比添加426.90%,首要原因是公司主营事务收入添加。

  2022年1-6月运营活动产生的现金流量净额为-3.28亿元,同比下降首要是出售订单添加引起的本期购买原资料付出的现金较上期添加以及付出员工薪酬较上期添加所形成的。

  2022年1-6月根本每股收益0.55元,较上年同期添加139.13%;稀释每股收益0.54元,较上年同期添加134.78%;扣除非经常性损益后的根本每股收益0.59元,较上年同期添加353.85%。首要原因是公司主营事务收入添加。

  公司首要从事半导体专用设备的研制、出产和出售,公司兆声波单片清洗设备、单片槽式组合清洗设备及铜互连电镀工艺设备与国内及世界同职业企业的不同及中心竞赛力表现的详细状况如下:

  技能特色 经过操控兆声波产生器和晶圆之间的半波长相对运动,完结晶圆外表兆声波能量的均匀分布,处理了传统兆声清洗中因为晶圆翘曲引起的兆声波清洗不均一的难题;经过准确操控兆声波的输出方法,使气泡在受控的温度下坚持必定尺度和形状的振动,将气泡振动操控在安稳空化状况而不会产生内爆或陷落,处理了传统兆声波清洗过程中因为气泡爆裂而引起的图形危害问题。 首要为二流体清洗技能 首要选用化学液体清洗协作氮气雾化水物理清洗

  技能节点及所掩盖下流职业 SAPS技能现在已运用于逻辑28nm技能节点及DRAM 19nm技能节点,并可拓宽至逻辑芯片14nm、DRAM 17/16nm技能节点、32/64/128层3D NAND、深邃宽比的功率器材及TSV深孔清洗运用,在DRAM上有70多步运用,而在逻辑电路FinFET结构清洗中有近20步运用;TEBO技能首要针对45nm及以下图形晶圆的无危害清洗,现在已运用于逻辑芯片28nm技能节点,已进行16-19nm DRAM工艺图形晶圆的清洗工艺评价,并可拓宽至14nm逻辑芯片及nm级3D FinFET结构、深邃宽比DRAM产品及多层堆叠3D NAND等产品中,在DRAM上有70多步运用,而在逻辑电路FinFET结构清洗中有10多步运用。 比较公司,其清洗设备技能节点较落后、运用范畴较窄 比较公司,其已出售的清洗设备运用于5nm及以上出产线、运用范畴更广

  技能特色 比较当时干流单片设备,可大幅削减硫酸运用量;坚持湿润及必定水膜厚度传送硅片至单片清洗模块;在单片清洗模块中进行晶圆终究清洗,清洗才能优于传统槽式清洗设备,可和单片清洗设备相媲美。 - -

  技能节点及所掩盖下流职业 运用包含前段干法蚀刻后聚合物及残胶去除,抛光后研磨液残留物去除,离子注入后光刻胶残留物去除,通孔前有机残留物去除等工艺,现在已完结逻辑芯片逻辑40nm及28nm技能节点产线nm DRAM及以上技能节点及64层及以上3D NAND,可用于20步及以上的清洗高温硫酸及高温磷酸的清洗过程。 无此产品 无此产品

  技能特色 运用多阳极部分电镀技能,选用准确可控电源别离接通各个阳极,完结部分电镀,适用于超薄种子层掩盖小孔及沟槽结构的无空穴电镀填充;独立电镀液流场操控体系,独自操控向各个阳极供给电镀液,准确操控电镀腔内的流体场;电镀夹具密封技能,经过全封闭式密封圈对触摸电极的维护,进步工艺功用和延伸触摸电极运用寿命,下降工艺耗材本钱;工艺腔体模块化规划,进步设备有用运转时刻。 - 选用虚拟阴极电镀技能,战胜晶圆边缘效应,进步晶圆内电镀均匀性;协作智能入水功用,下降入水形成的电镀堆积缺点。

  技能节点及所掩盖下流职业 双大马士革铜互连结构铜电化学堆积工艺:55nm至14nm及以上技能节点;先进封装凸块、再布线、硅通孔、扇出工艺的电化学镀铜、镍、锡、银、金等。 无此产品 双大马士革铜互连结构铜电化学堆积工艺:55nm至7nm及以上技能节点;支撑5nm及以下技能节点在其他资料上电镀堆积铜。

  公司经过差异化的立异和竞赛,成功研制出全球创始的SAPS/TEBO兆声波清洗技能和单片槽式组合清洗技能。现在,公司的半导体清洗设备首要运用于12英寸的晶圆制作范畴的清洗工艺,在半导体清洗设备的适用尺度方面与世界巨子公司的相似产品不存在竞赛距离。本继续督导期间,未产生导致公司中心竞赛力遭到严峻影响的事情。

  2022年 1-6月研制投入总额为 1.87亿元,较上年同期研制投入总额添加62.97%。首要是跟着现有产品改善及工艺开发以及新产品及新工艺开发,研制测验等服务费添加,聘任的研制人员人数以及付出研制人员的薪酬添加。

  到2022年6月30日,公司及控股子公司具有已获颁发专利权的首要专利368项,其间境内授权专利161项,境外授权专利207项,其间发明专利合计363项。该等在我国境内已授权的专利不存在质押、司法查封等权力受约束的景象。

  到2022年6月30日,发行人征集资金专户余额为人民币250,653.36万元(含征集资金利息收入扣减手续费净额),征集资金累计运用及结余状况如下:

  公司2022年上半年征集资金寄存与运用状况契合《证券发行上市保荐事务办理方法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司征集资金办理和运用的监管要求》、《上海证券买卖所科创板股票上市规矩》、《上海证券买卖所科创板上市公司自律监管规矩适用指引第1号——标准运作》等法令法规和准则文件的规矩,对征集资金进行了专户存储和专项运用,并及时实行了相关信息宣布责任,征集资金详细运用状况与公司已宣布状况共同,不存在变相改动征集资金用处和危害股东利益的状况,不存在违规运用征集资金的景象,征集资金办理和运用不存在违背国家反洗钱相关法令法规的景象。

  到2022年6月30日,盛美上海控股股东、实践操控人、董事、监事和高档办理人员持有的盛美上海股份未产生变化,不存在质押、冻住及减持的景象。

  十一、上市公司是否存在《保荐方法》及上海证券买卖所相关规矩规矩应向我国证监会和上海证券买卖所陈说或应当宣布定见的其他事项

  经核对,到本继续督导盯梢陈说出具之日,上市公司不存在依照《保荐方法》及上海证券买卖所相关规矩规矩应向我国证监会和上海证券买卖所陈说或应当宣布定见的其他事项。